Electronic Journal 別冊
2011 マイクロマシン/MEMS技術大全
── MEMS Technology Outlook ──
【発 行】電子ジャーナル
【発行日】2011年8月25日
【頁 数】674頁(A4変形)
【体 裁】CD-ROM
【定 価】49,800円(送料・税込み)
・マイクロマシン/MEMSの現状・将来を説き明かす。各種応用デバイスを徹底詳解。その全貌を捉える。
・マイクロマシン/MEMSの設計・製造技術を分かりやすく解説。要素技術もバッチリ!
・設計ツール・製造装置・部材メーカーが提供するソリューションを網羅。関連装置・部材を満載。
・主要サプライヤー製品ディレクトリを収録。バイヤーズガイドとしても必携の一冊 !
第1編 マイクロマシン/MEMS総論
第1章 マイクロマシン/MEMSとは?
第2章 マイクロマシン/MEMSの応用デバイス
第3章 マイクロマシン/MEMSの技術動向
第4章 マイクロマシン/MEMSの将来展望
第2編 マイクロマシン/MEMS応用デバイス
第1章 アクチュエータ
第2章 医療用MEMS
第3章 加速度/ジャイロセンサ
第1節 エプソントヨコムの水晶ジャイロセンサ
第2節 オムロンのフローセンサ
第3節  東京計器のジャイロセンサ
第4節 パナソニック電工の加速度センサ
第5節 ワコーの加速度センサ
第6節 Invensenseのジャイロセンサ
第7節  Silicon Sensing Systems/住友精密工業のジャイロセンサ
第8節 STMicroelectronicsの加速度/ジャイロセンサ
第4章 光MEMS/ディスプレイMEMS
第1節 オリンパスの光MEMS
第2節 日本信号の光MEMS
第3節 浜松ホトニクスの光MEMS
第4節 マイクロプレシジョンのMEMSプロジェクタ用ミラー
第5節 MicrovisionのMEMSプロジェクタ技術
第5章 RF MEMS
第1節 アドバンテストのMEMSリレー
第2節 オムロンのRF MEMS
第6章 流体MEMS
第1節 大日本印刷のマイクロ流路チップ製造技術
第2節 日立製作所/日立プラントテクノロジーのマイクロリアクタ
第3節 フューエンスのイムノアッセイ用マイクロ流体チップ
第7章 分析用チップ
第1節 東芝の電流検出型DNAチップ
第2節 東レのDNAチップ
第3節 三菱レイヨンのDNAチップ
第8章 圧力センサ
第1節 オムロンの圧力センサ
第2節 山武の圧力センサ
第3節 Infineon Technologiesの車載用圧力センサ
第4節 STMicroelectronicsの圧力センサ
第9章 赤外線イメージセンサ
第1節 オムロンの赤外線センサ
第10章 Power MEMS
第1節 Power MEMS/マイクロ燃料電池
第2節 Power MEMS技術を用いた振動デバイス
第11章 マイク/音響センサ
第1節 オムロンのマイク/音響センサ
第12章 カンチレバー
第1節 オリンパスのカンチレバー
第2節 セイコーインスツルのカンチレバー
第13章 MEMS振動子(発振器)
第1節 エプソントヨコムの水晶振動子
第3編 マイクロマシン/MEMS設計・製造技術
第1章 マイクロマシン/MEMSの設計技術
第2章 マイクロマシン/MEMSのパターニング技術
第3章 マイクロマシン/MEMSのエッチング技術
第4章 マイクロマシン/MEMSの成膜・改質・応力制御技術
第5章 マイクロマシン/MEMSのウェーハ接合・組立技術
第6章 マイクロマシン/MEMSの複合プロセス
第7章 マイクロマシン/MEMSの特殊加工技術
第8章 マイクロマシン/MEMSの検査・測定・試験技術
第4編 マイクロマシン/MEMS設計ツール
第1章 みずほ情報総研の3次元エッチング形状シミュレータ
第2章 みずほ情報総研の3次元流体解析システム
第3章 ANSYSの高周波3次元電磁界シミュレータ
第4章 Coventor/丸紅情報システムズのMEMS用設計ツール
第5章 Flow Science/テラバイトの3次元流動解析ソフトウェア
第6章 GenISysのMEMS・FPD・ナノ加工技術向けリソグラフィ工程プロセス最適化ツール
第7章 IntelliSense/アドバンスト テクノロジーのMEMS用設計・解析ツール
第8章 SoftMEMS/サイバネットシステムのMEMS用設計ツール
第9章 Tanner EDAのレイアウト設計ツール
第10章 MemsONE/マイクロマシンセンターのMemsONEの概要と知識・材料プロセスDB
第11章 MemsONE/日本ユニシス・エクセリューションズのフレームワーク機能
第12章 MemsONE/みずほ情報総研の機構解析ソフトウェア/プロセス解析ツール
第13章 MemsONE/数理システムのプロセス逆問題ソフトウェア/MEMS回路シミュレータ
第5編 マイクロマシン/MEMS製造装置
第1章 マイクロマシン/MEMS用成膜装置
第1節 イデヤのめっき装置
第2節 日本エレクトロプレイティング・エンジニヤース(EEJA)のMEMS用成膜装置
第3節 SPP Process Technology Systems/住友精密工業のPE-CVD装置
第2章 マイクロマシン/MEMS用露光装置
第1節 INDEXテクノロジーズのマスクレス露光機
第2節 ウシオ電機の露光装置
第3節 ズース・マイクロテックのマスクアライナ
第4節 大日本科研の移動マスクUV露光装置
第5節  ナノシステムソリューションズのマスクレス露光装置
第6節 ニコンエンジニアリングの露光装置
第7節 ユニオン光学の露光装置
第8節 EV Groupの露光装置
第9節 Neutronix-Quintel/リソテックジャパンのマスクアライナ
第10節 Ultratechの露光装置
第3章 マイクロマシン/MEMS用レジスト塗布・現像装置
第1節 ウシオ電機のスプレーコータ
第2節 ズース・マイクロテックのレジスト塗布・現像装置
第3節 タカトリのドライフィルムレジスト貼り付け装置
第4節 東京応化工業の超厚膜レジスト用コータ
第5節 ナガセテクノエンジニアリングの静電方式スプレーコータ
第6節 リソテックジャパンのレジスト塗布・現像装置
第7節 リソテックジャパンのHMDS処理装置
第8節 リソテックジャパンのマニュアルベーク・クーリング装置
第9節 EV Groupのレジスト塗布・現像装置
第4章 マイクロマシン/MEMS用描画・加工装置
第1節 三和システムエンジニアリングの穴あけ加工装置
第2節 三菱重工業の微細切削加工装置
第3節 EV Groupのホットエンボス装置
第4節 Raith/Vistec Lithography/伯東の電子ビーム描画装置
第5章 マイクロマシン/MEMS用エッチング装置
第1節 アルバックのエッチング装置
第2節 ケミトロニクスの異方性エッチング装置
第3節 サムコのエッチング装置
第4節 神港精機のエッチング装置
第5節 パナソニック ファクトリーソリューションズのエッチング装置
第6節 memsstar/キヤノンマーケティングジャパンの犠牲層エッチング・コーティング装置
第7節 Primaxx/住友精密工業のSi酸化膜犠牲層エッチング装置
第8節 SPP Process Technology Systems/住友精密工業のエッチング装置
第9節 XACTIX/住友精密工業のXeF2ドライエッチング装置
第6章 マイクロマシン/MEMS用洗浄・乾燥装置
第1節 レクザムの超臨界MEMS洗浄/乾燥装置
第2節 Eco-Snow Systems/ファーストゲートの洗浄装置
第3節 EV Groupの洗浄装置
第7章 マイクロマシン/MEMS用位置合わせ・貼り合わせ装置
第1節 ズース・マイクロテックの位置合わせ・貼り合わせ装置
第2節 ボンドテックのウェーハ接合装置
第3節 三菱重工業の常温ウェーハ接合装置
第4節 EV Groupの位置合わせ・貼り合わせ装置
第8章 マイクロマシン/MEMS用検査・測定・評価装置
第1節 エスアイアイ・ナノテクノロジーのFIB装置
第2節 オリンパスの走査型共焦点レーザ顕微鏡
第3節 グラフテックの非接触型振動測定センサ
第4節 タカノの3次元形状測定装置
第5節 テクネックス工房の超小型SEM
第6節 東京エレクトロンのMEMSテスタ
第7節 ニコン インストルメンツカンパニーのCNC画像測定システム
第8節 ポリテックジャパンのマイクロシステムアナライザ
第9節 ポリテックジャパンのレーザドップラー振動計
第10節 モリテックスの赤外透過評価装置
第11節 ユニオン光学の光学式非接触段差・厚み測定装置
第12節 ユニオン光学の両面位置確認顕微鏡・赤外線ズーム顕微鏡
第13節 ラポールシステムのテスタ
第14節 リソテックジャパンのMEMS向けリソグラフィ特性解析装置
第15節 菱化システムの非接触表面・層断面形状計測システム
第16節 レーザーテックのコンフォーカル顕微鏡
第17節 Agilent Technologiesのレーザ測長システム
第18節 Agilent Technologiesのインピーダンス測定器
第19節 Carl Zeiss/エスアイアイ・ナノテクノロジーの走査電子顕微鏡
第20節 Carl Zeiss/エスアイアイ・ナノテクノロジーの透過電子顕微鏡
第21節 EV Groupの位置合わせ精度測定装置
第22節 Foothill Instruments/リソテックジャパンの自動膜厚測定装置
第23節 Zygo/キヤノンマーケティングジャパンの光干渉計測装置
第9章 その他の装置・システム・技術
第1節 アプコの断面SEM観察試料片作製システム
第2節 ウシオ電機のμ-TAS接着装置
第3節 エム・エー・ティのCMP実験装置
第4節 三和システムエンジニアリングの精密位置決めシステム
第5節 大陽日酸の排ガス処理装置
第6節 TOTOのセラミック厚膜形成技術
第7節 浜松ホトニクスのステルスダイシング技術
第8節 リソテックジャパンのインプリント装置
第6編 マイクロマシン/MEMS用材料・部材
第1章 マイクロマシン/MEMS用材料
第1節 旭硝子のガラス基板
第2節 関東化学の薬液
第3節 三和システムエンジニアリングの超微粉・ナノ粉末成形用衝撃力プレス
第4節 JSRのフォトレジスト
第5節 東京応化工業のフォトレジスト
第6節 ニッコーのLTCC基板
第7節 三菱ガス化学のSi異方性エッチング液
第8節 日本化薬/Microchemのフォトレジスト
第9節 PELCHEM/日本エア・リキードのエッチング材料
第10節 SCHOTTのガラス基板
第2章 マイクロマシン/MEMS用部材
第1節 アプコの電子線鏡筒
第2節 テクニスコのWL-CSP向けガラス貫通配線基板
第3節 日本レーザーのレーザ
第4節 Coherentの炭酸ガス/全固体/エキシマレーザ
第5節 Product Systems/ファーストゲートのメガソニック振動子
第7編 マイクロマシン/MEMS加工・試作・製造サービス
第1章 アルバック成膜のマイクロマシン/MEMSファンドリーサービス
第2章 エム・エー・ティのCMPファンドリーサービス
第3章 オプトニクス精密のマイクロマシン/MEMS加工・試作・製造サービス
第4章 オムロンのマイクロマシン/MEMSファンドリーサービス
第5章 協同インターナショナルのマイクロマシン/MEMS加工・試作・製造サービス
第6章 三和システムエンジニアリングの超微粉・ナノ粉末成形加工・研究・試作サービス
第7章 シリコンセンシングシステムズジャパンのマイクロマシン/MEMSファンドリーサービス
第8章 大日本印刷のマイクロマシン/MEMS加工・試作・製造サービス
第9章 D-ProcessのMEMS-CMPファンドリーサービス
第10章 東成エレクトロビームのマイクロマシン/MEMS加工・試作・製造サービス
第11章 ナノクラフトテクノロジーズのマイクロマシン/MEMS加工・試作・製造サービス
第12章 日本MEMSのマイクロマシン/MEMS加工・試作・製造サービス
第13章 富士電機のマイクロマシン/MEMSファンドリーサービス
第14章 丸紅情報システムズのマイクロマシン/MEMS加工・試作・製造サービス
第15章 メムス・コアのマイクロマシン/MEMS加工・試作・製造サービス
第8編 サプライヤー製品ディレクトリ
マイクロマシン/MEMS関連製品サプライヤー90社
お申し込みフォーム