Electronic Journal 第998回 Technical Seminar
MEMS組立・実装・テスト技術★徹底解説
〜ウェーハレベルパッケージまで最新技術を詳解〜
主 催:電子ジャーナル
日 時:2012年5月30日(水)10:30〜16:30
*当初1月30日に開催予定でしたが、都合により変更になりました。ご注意願います。
講 師:東北大学 原子分子材料科学高等研究機構 教授 江刺正喜氏
会 場:総評会館
参加費:47,500円(テキスト代/昼食代/消費税含む)
定 員:30名 ※定員になり次第、締め切らせて頂きます。お早めにお申込み下さい。
★早割サービス対象 !
開催日の1ヶ月前までに参加申込をされた場合、参加費を20%引きとさせていただきます。
★開催にあたって
MEMSデバイスの開発と製品化が活発に行われ、市場規模が急速に拡大しています。MEMSデバイスは、気密性や熱的特性、機械的特性、形状の超小型化などに関する様々な要求や、ガラスなど異種材料の使用といった観点からも、パッケージングのための技術がより重要になってきました。一方で、MEMSデバイスにかかるコストの80%がパッケージングとテストであると言われており、これらが低コスト化の鍵を握っています。このようなことから、組立工程の設備が簡略化され、MEMS部が分割時に保護されるなどの利点を持つウェーハレベルパッケージングによるMEMSデバイスの開発が進められています。本セミナーでは、MEMSデバイスの組立・実装・テスト技術に焦点を当て、話題の最新技術、最新の事例などを紹介しながら、その最前線を、MEMSの世界的権威である東北大学 教授の江刺正喜氏が分かりやすく、かつ詳細に解説します。
プログラム  
【10:30〜12:00】 1. MEMS組立・実装・テスト技術について
2. 接合技術
 1. 陽極接合
 2. 直接接合とプラズマ支援接合
 3. 金属接合
 4. ポリマー接合
 5. その他の接合
【12:40〜14:00】 3. ヘテロ集積化技術
 1. バルクプロセス
 2. 表面プロセス
 3. 貼り合わせプロセス
【14:00〜15:20】 4. ウェーハレベルパッケージング技術
 1. 貫通配線
 2. 各種パッケージング
 3. 真空封止
 4. ダイシング
【15:30〜16:20】 5. 組立・テスト技術とその低コスト化について
 1. 組立
 2. テスト・評価
【16:20〜16:30】 名刺交換会
お申し込みフォーム